電子中級(jí)工程師職稱論文發(fā)表壓電納米帶及其測(cè)試方法
本文是一篇電子中級(jí)工程師職稱論文發(fā)表,發(fā)表在《國(guó)外電子測(cè)量技術(shù)》上,雜志創(chuàng)刊于1982年,是由中華人民共和國(guó)信息產(chǎn)業(yè)部主管,信息產(chǎn)業(yè)部電子測(cè)量?jī)x器專業(yè)情報(bào)網(wǎng)主辦的普及型中級(jí)科技刊物。它經(jīng)歷了以譯文方式全面介紹國(guó)外先進(jìn)電子測(cè)量?jī)x器與技術(shù),到編譯國(guó)外先進(jìn)電子測(cè)量?jī)x器與技術(shù),再到一邊介紹國(guó)內(nèi)外電子測(cè)量?jī)x器與技術(shù)的發(fā)展動(dòng)態(tài)、一邊介紹電子測(cè)量?jī)x器與技術(shù)的原創(chuàng)作,三個(gè)與時(shí)俱進(jìn)的階段。目前,《國(guó)外電子測(cè)量技術(shù)》具有豐富的稿源、數(shù)以萬(wàn)計(jì)的發(fā)行量、近10萬(wàn)人的讀者群。因此,它不僅是國(guó)內(nèi)業(yè)界人士開(kāi)闊眼界、拓寬思路,邁向國(guó)外的窗口,也是國(guó)外同行了解中國(guó)產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)、技術(shù)動(dòng)態(tài)與進(jìn)行交流的平臺(tái)。
壓電材料是受到壓力作用時(shí)會(huì)在兩端面間出現(xiàn)電壓的晶體材料。因?yàn)槠浯嬖趬弘娦?yīng),所以施加作用力在壓電材料上,壓電材料就會(huì)產(chǎn)生電位差,我們稱這種現(xiàn)象為正壓電效應(yīng);相對(duì)應(yīng)的,對(duì)壓電材料施加電場(chǎng)的時(shí)候,會(huì)引起機(jī)械應(yīng)力,我們稱這種現(xiàn)象為逆壓電效應(yīng)。
摘 要:電子中級(jí)工程師職稱論文發(fā)表介紹了壓電納米材料的主要性能及其微觀機(jī)理,國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀。討論了幾種主要的制備和表征的方法,及其優(yōu)缺點(diǎn)。對(duì)其力學(xué)性能做了詳細(xì)分析。
關(guān)鍵詞:壓電材料,納米帶,力學(xué)性能,電子中級(jí)工程師職稱論文發(fā)表
1. 壓電納米材料簡(jiǎn)介
由于壓電材料具有特的物理和化學(xué)性能,其已經(jīng)廣泛應(yīng)用于我們生活和工作的各個(gè)領(lǐng)域,如制動(dòng)器、傳感器等[2]。隨著器件制備技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步,器件越來(lái)越趨向于微型化,其尺寸已經(jīng)步入微納米級(jí)別。相對(duì)應(yīng)的,越來(lái)越多的材料也向小尺寸發(fā)展。壓電納米材料,如壓電納米帶和壓電薄膜等納米尺寸材料,由于具有獨(dú)特的力電耦合性能及尺寸小的特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于微電子器件等領(lǐng)域。它們常常以薄膜或納米帶等形式生長(zhǎng)在基底材料的表面上,其尺寸在納米到微米量級(jí)。目前,無(wú)論是在國(guó)內(nèi)還是國(guó)外,壓電納米材料已成為一個(gè)熱點(diǎn)的研究課題。
2. 壓電納米帶及壓電薄膜材料的力學(xué)性能
壓電納米材料,如壓電薄膜、壓電納米帶,不管是用于功能性元器件或者結(jié)構(gòu)性元器件,其力電性能對(duì)它的應(yīng)用具有非常重要的意義[6]。其基本力學(xué)性能一般都包括彈性性能、斷裂韌性、殘余應(yīng)力及界面強(qiáng)度等。彈性性能作為壓電納米材料最基本的力學(xué)性能,對(duì)于壓電納米材料的應(yīng)用有著重要的作用,其一般可以用彈性常數(shù)來(lái)表征。我們一般把壓電薄膜和壓電納米帶材料看成橫觀各向同性材料,其彈性性能在一個(gè)面內(nèi)是具有各向同性,而在垂直于這個(gè)各向同性面的方向是異性的。因此,壓電薄膜和壓電納米的彈性常數(shù)可以由五個(gè)獨(dú)立的彈性順度系數(shù)來(lái)表征:橫向和縱向楊氏模量、縱向剪切模量、橫向和縱向泊松比。壓電納米材料不同于一般的陶瓷材料,其斷裂韌性很復(fù)雜,不能簡(jiǎn)單的用斷裂韌性數(shù)值
來(lái)表征,不同的極化方向,相對(duì)應(yīng)的斷裂韌性也會(huì)不同。
3. 壓電納米帶及壓電薄膜材料力學(xué)性能的測(cè)試方法
隨著現(xiàn)代物理測(cè)試技術(shù)的發(fā)展,表征壓電納米材料力學(xué)性能的方法已經(jīng)有了一定程度的發(fā)展,出現(xiàn)了一系列的測(cè)試方法,主要分為非接觸方式的測(cè)試方法和接觸方式的測(cè)試方法兩大類。非接觸方式在測(cè)試過(guò)程不會(huì)破壞樣品,它主要包括布里淵散射法、表面聲波法以及聲顯微術(shù)法。前兩者都是用激光照射樣品表面,激發(fā)聲波,然后根據(jù)表面聲波中分支信號(hào)的波速與波譜之間的關(guān)系,確定樣品的彈性力學(xué)參數(shù)。它們的不同之處在于布里淵散射法用的是小功率激光器,而表面聲波法用的是大功率激光器。至于聲顯微術(shù)法,它是用通過(guò)液體介質(zhì)的聲波照射樣品表面,從確定樣品的力學(xué)性能。這種方法所用的聲波頻率比前兩種所用的聲波頻率都要低,因此適合測(cè)試厚度較大的薄膜材料的力學(xué)性能。接觸方式的測(cè)試方法主要包括單軸拉伸法和微/納米壓痕法。一般來(lái)講,單軸拉伸是測(cè)試材料力學(xué)性能的首選方法,測(cè)試結(jié)果簡(jiǎn)單,數(shù)據(jù)通用性強(qiáng)。但是對(duì)于低維材料,由于其幾何尺寸小的特點(diǎn),使單軸拉伸的操作變得很困難,測(cè)得的數(shù)據(jù)也變得不可靠了。微/納米壓痕法作為一種測(cè)試壓電納米材料力學(xué)性能的有效方法,應(yīng)用已經(jīng)十分廣泛了。在壓痕實(shí)驗(yàn)過(guò)程中,通過(guò)連續(xù)記錄加載力和壓痕深度,得到壓電納米材料的實(shí)驗(yàn)壓痕曲線。然后根據(jù)壓痕實(shí)驗(yàn)曲線來(lái)反映或者量化壓電納米材料的力學(xué)性能。本文通過(guò)納米壓痕與有限元相結(jié)合的方法,確定了壓電納米帶和壓電薄膜的彈性常數(shù)。
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